1.系统型号：

TL1200-H-PE-I ‚TL1200-H-PE-II ƒTL1200-H-PE-III

2.管式炉型号：TL1200-S-I ‚TL1200-S-II          

3.炉管长度：Φ60X1800mm  ‚Φ80X1800mm ƒ100X1800mm                                  

4.等离子射频电源：PE-500  

5.抽气系统：VS-0.1（可选购VS高真空系统）

6.供气系统：GX-3（可选购LEP-800液态蒸发器 可订制多通道）